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研磨剤

Bettersize Instruments は、炭化ケイ素、ガーネット、ダイヤモンド、コランダム、酸化アルミニウムの粒度分布粒子形状の分析を提供します。

 

研磨剤は、摩擦や摩擦によって表面を減少させる材料です。 したがって、DVR / CD ディスクの化学機械研磨、サンドペーパー、研削砥石、切断砥石、床の滑り止め加工、フライス加工、歯磨き粉、キッチンや浴室の洗剤などに有効に使用されています。

 

このように研磨材は広く使われており、製造業の「歯」です。 炭化ケイ素粉末は、主にマルチワイヤー切断機に使用される粉砕材料の一種で、その粒子形状と粒子サイズはシリコンウェーハの平滑度や切断効率に重要です。 炭化ケイ素粉末はシリコンウェーハ切断の本質です。 適切な粒子形状により、切断後のシリコンウェーハ表面は良好な平滑性を示します。 粒度分布を狭くしコーナー角を鋭角にすることで切断効率が向上します。

 

研磨剤として機能する能力を決定する材料の 3 つの特性 (硬度、鋭さ、靭性) があります。 その硬度と鋭さにより表面が減少し、その靭性は摩耗作用に耐えることができます。 処理される表面の硬度は、選択した研磨剤よりも低い必要があります。 表面を研削、研磨、除去するには高い硬度が必要です。

 

研磨材として使用される材質には、ガーネット、ダイヤモンド、炭化ケイ素、酸化アルミニウムなどがあります。

 

粒子サイズは、研磨剤の適切な選択と使用に不可欠な部分です。 従来、測定はふるいを使用して行われてきました。 ただし、ふるいによる測定では非常に小さなサイズを測定できる能力が制限されており、2 番目に大きい寸法のみを測定する形状バイアスの影響を受けます。 研磨材のサイズは、6 ミリメートルから最小の 6 マイクロメートルまであります。

 

粒子の形状は研磨作用の有効性にとって重要です。

 

鋭さは、材料が別の表面から材料を除去する能力の指標です。 凹凸(表面の粗さ)は、処理面の摩耗速度や研磨剤の効果に影響します。 摩耗率は、一定の研磨粒子サイズを下回ると減少します。 鮮鋭度はSPQ(Spike Parameter Quadratic)計算などで求められますが、Bettersize DIAシステムではKrumbein法よりもはるかに優れた粒子の角度測定が可能です。
角度は、クルンバインよりも鮮明さをよりよく示す可能性があります。 これは、角度ではパーティクルのすべての尖ったエッジが考慮されるためですが、これは Krumbein 法には欠けています。

 

 

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